高精密定位工作台TX以高精度高刚性而拥有丰厚业绩的
精密定位工作台LH为基础,装入使用圆柱滚子为滚动体、在直线导向装置中具有最高水准行走性能的
圆柱滚子直线导轨超级X,是一款由全闭环控制实现了极高精度的定位工作台。
最适合于以前无法使用滚动导向、需要高精度定位的用途。
- 对变动负荷也具备高稳定性
- 直线导向部使用圆柱滚子直线导轨超级X,铸铁底座与滑动台搭配,实现了高刚性和负载容量。
对负载负荷的变位量小,用于搭载物的质量或外部负载变动的用途也能依然保持高稳定性。
- 可在低中真空环境下使用
- 不会因气流(诸如Air-stage)而影响真空环境。亦可制作封入真空环境用润滑脂规格的产品。
- 可在洁净室使用
- 亦可对应封入低发尘润滑脂规格的产品。
- 可使系统结构简洁
- 无需用于驱动的供气装置(诸如Air-stage),系统结构简洁,能节省空间和降低设备成本。