洁净型精密定位工作台TC是一款最适合在半导体和液晶制造设备等需要高洁净度环境下工作的定位工作台。
采用我公司独创的高密封结构,对驱动部分和滑动台的导向部分进行密封,防止粉尘发散到滑动台。
洁净型精密定位工作台TC有TC...US、TC...U和TC...L三种型号,TC...US的宽度窄并能实现洁净度等级2;TC...U为高精度,并且选购件丰富;TC...L采用全罩盖结构。
- 瘦型高密封型(TC...US)
实现洁净度等级2 - 采用I字形滑动台,依靠高密封结构,较少的吸引量,实现了高洁净度。
- 瘦型滑动台
- 宽度窄,瘦型规格,即便多台并列使用也不占空间。
- 电机折返安装规格
- 还能够为了节省空间,采用电机折返安装规格
- 宽度宽,高刚性型(TC...U)
高刚性 - 直线导向部采用能作为横梁等结构部件使用的高刚性U字形滑轨。
滑动台更新,刚性增加!亦能多轴系统结构。
- 易于维护
- 采用可拆式盖,可在装配于机械设备的状态下拆卸盖子,易于维护。
- 宽度宽,全罩型(TC...L)
全罩结构 - 采用全罩结构,罩住所有驱动零件,实现了线条简洁的方形外观。
- 易于装配多轴系统
- 安装于底座时,无需拆开桥式盖板,底座与滑动台的安装孔尺寸相同,易于多轴系统构成。