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直线电机 LT...M
直线电机定位工作台LT...M在钢制可动工作台和底座之间装入AC直线伺服电机,并内置光学式线性编码器,是一款结构紧凑的定位台。
定位台的导向部采用
直线导轨L,实现了5年或20,000km免维护。而且搭配直线电机,能高速高响应地定位。
直线电机定位台LT...M最适合于用作半导体和液晶制造设备以及要求清洁环境的检验设备、电子元器件组装设备等的小型定位机构。
紧凑、长行程规格
采用不产生磁铁吸引力的C形磁轭,并装入小型直线导向装置,实现了台高17mm、宽45mm的小尺寸。而且采用活动线圈方式,最大行程长度达到300mm,产品系列化。
高速高响应定位
轻量可动台搭配高推力、带铁心的直线电机,实现了最高1.3m/s(分辨率选择0.5μm时)的高速高响应定位。
高分解能、高精度
采用光学式线性编码器,全闭环控制,实现了高分解能、高精度定位,能长期保持稳定。
免维护
定位台的导向部采用IKO C-Lube直线导轨L,实现了5年或20,000km免维护。
一台直线电机配备两个滑块的双模组新登场。最大推力和最大可搬质量为单模组2倍,进一步拓展了用途。
通过两台并排配置,可实现自由自在的工作台组合。双轴并行运转可获得较大推力,将左右驱动轴的延迟抑制在最小范围,组成稳定的定位机构。
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直线电机定位台LT
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纳米直线定位工作台 NT
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