纳米直线电机在钢制可动台上配置磁铁和光学线性编码器用光栅尺，钢制底座上配置定子线圈、线性编码器头等，是一款电磁式直线电机定位工作台。
工作台导向部采用在小型直线导向装置领域赢得口碑的直线导轨，直线电机搭配高分解能线性解码器，取得高精度的定位精度。
采用高性能钕磁铁，具备大推力，体型小的同时能实现高速高响应定位精度。此外，采用划时代的无电缆驱动方式，机械性接触部分仅采用直线导向装置，实现了高清洁度。
纳米直线电机最适合用作半导体和液晶制造以及要求清洁环境的检验、电子元器件装配装置等设备的定位机构。