角度精密定位工作台（组件）SA...M

模组型校准工作台SA...M在同一平面上配置具有角度调整机构的校准模组AM，是一款大型精密定位台。能进行XY方向的直线运动和角度校正，尤其是角度校正，能将任意位置设定为旋转中心，故动作自由度高，动作多样。工作台和底座采用大口径中空结构，最适合用作半导体、液晶制造设备和检验设备等的校准台。


 

IKO模组型校准工作台SA...M在同一平面上配置多个具有角度调整机构的校准模组AM，一层结构，是一款断面极低的XYθ定位工作台。 采用大口径中空结构的工作台有3种尺寸，□420、□800和供小型用途的□250。最适合用作半导体、平板显示器制造设备和检验设备等的校准机构。

能架构各种校准台的校准模组AM。 产品备有4种尺寸，包括用于小型用途的高度为47mm、宽度为86mm的AM25到AM86。