直线电机驱动的X、Y轴有0.1μm和0.5μm两种分解能，可根据用途选择。
校准工作台SA...DE的直线导向部使用直线导轨L和将直线电机驱动的可动台做双轴正交组合的XY轴，旋转导向部的θ轴采用交叉滚子轴承和直接驱动方式，是一款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。
通过高分解能线性编码器搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。
而且，直线移动用的X轴可动工作台和旋转定位部θ轴转台均已标准化，可方便地进行X轴和θ轴的组合或架构XY轴的校准工作台。