压电精密定位工作台SP

压电定位工作台SP在紧凑的钢制台内装入由压电元件和应变计构成的IKO独创变位检测机构，是一款超微动定位台。
IKO压电定位工作台SP实现了“10nm”的高分解能和高定位精度，通过搭配IKO精密定位工作台可构成高精度紧凑型粗调和微调机构。
最适合于用作激光和光学设备、半导体和液晶装置等需要进行精细定位的控制机构。

 

压电定位工作台SP以压电元件为驱动源。 压电元件采用用电极夹住压电材料后层叠的结构，具有随在电极间附加电压而伸张的性质(逆压电效应)，该时的附加电压和伸张量之间发生滞后现象。压电定位台SP基于结构解析在最佳位置配置应变计，通过闭环控制消除滞后现象，进行高精度超微动定位。 高分解能高精度定位 “10nm”的高分解能和高定位精度。 顺畅的微小进给动作 活动部的支撑机构采用平行弹簧，能给压电元件施加一定的预压，从而实现无摩擦稳定微小的传送动作。 支持脉冲指令！具备丰富功能的专用驱动器 附带专用驱动器，不仅支持一般的模拟电压指令，还支持脉冲指令、USB通信命令，能根据用途构筑成最合适的控制系统）。